យាយអ្នកសាកល្បងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តត្រូវបានប្រើដើម្បីសាកល្បងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តប្លាស្ទិចនិងសន្លឹកដោយវិធីសាស្ត្រស្កេនមេកានិចប៉ុន្តែខ្សែភាពយន្តនិងសន្លឹកអេមអេមអេមមិនមានទេ។
1.ផ្ទៃភាពស្រស់ស្អាត
2.Rរចនាសម្ពន្ធ័សមាធិភាពមិនសមរម្យ
3.ងាយស្រួលក្នុងការធ្វើប្រតិបត្តិការ
វាអាចអនុវត្តបានសម្រាប់ការវាស់កម្រាស់ជាក់លាក់នៃខ្សែភាពយន្តប្លាស្ទិកសន្លឹកដ្យាក្រាមក្រដាសក្រដាសកាតុងធ្វើកេស foils, Silicon Wafer សន្លឹកដែកនិងសម្ភារៈផ្សេងទៀត។
GB / T6672-ការប្តេជ្ញាចិត្តនៃកម្រាស់ដោយការស្កេនមេកានិច>
iso4593-ការប្តេជ្ញាចិត្តនៃកម្រាស់ដោយការស្កេនមេកានិច>
វត្ថុ | ប៉ាចចមប |
ជួរតេស្ត | 0 ~ 1 មម |
ដំណោះស្រាយសាកល្បង | 0.001 មម |
សម្ពាធសាកល្បង | 0.5 ~ 1.0n (នៅពេលដែលអង្កត់ផ្ចិតនៃក្បាលតេស្តខាងលើគឺឹម6 មមនិងក្បាលតេស្តទាបគឺរាបស្មើ) 0.1 ~ 0.5N (នៅពេលកាំនៃកោងនៃក្បាលតេស្តខាងលើគឺ R15 ~ R50MM និងក្បាលតេស្តទាបគឺរាបស្មើ) |